【新技术】线色谱传感器—高速下的高精度
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WERTH为2017年Control展隆重推出新研发的传感器系列:线色谱传感器(Chromatic Focus Line Sensor, CFL)。其可以快速采集整个零件的几何形状。通过选用不同的物镜,调节测量误差和测量范围来适应各种应用需求。通过大的轴向测量范围,不需要针对零件几何形状的可控的补充。以便通过扫描,快速并大面积获取零件几何形状。针对表面有高度变化的零件可以采用3D仿样进行扫描。线色谱传感器可以用于测量漫反射、镜面和透明零件以及有较大倾斜角的零件表面。
CFL在零件表面投影一排约200个白色光点。从零件表面反射回的光线将通过光谱分析,确定传感器和零件表面之间的距离。通过新的线传感器次实现了高速并且高精度地、完整地采集零件3D数据。仅仅用3秒钟就能够测量100万个测量点。
线色谱传感器还具有另一个有趣的功能:反射回的光的波长强度被分析评估,并创建零件表面的栅格图像。其后续的分析评估允许通过图像处理软件“在图像内”确定零件坐标系或者测量几何特征。在此基础上,由于位置的确定,可以不需要传感器转换就使用各种其他传感器进行测量。
在快速的测量速度下,CFL的测量允许测量精密零件和微特征。该传感器不仅可以用于镜面或者透明零件如冲压印模或者硬质合金及金刚石刀具的测量,也可以用于漫反射的塑料零件的测量。通过高点密度来确定不同表面的形貌。例如微机械零件手表表盘。CFL的另一个典型应用是在半导体技术领域,在生产工序中,对于LED阵列的共面的测量。作为测量结果,是以点云的形式体现零件表面的完整形状,借此测量平面度或者粗糙度以及几何元素。也可以用颜色编码显示出理论实际值偏差。
线色谱传感器测量的点云数据和CAD模型的颜色编码偏差显示
手表表盘的栅格图像